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碳化硅涂层在炭/炭热场材料中的应用分析

2024-10-15

碳化硅涂层的特性和制备方法

碳化硅涂层因其优异的抗热震性能、耐磨性能等特点,成为炭/炭热场材料表面涂层防护的首选。这种涂层的制备方法多样,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等。CVD方法通过在高温下将气体中的碳源和硅源反应生成碳化硅薄膜,而PVD方法则通过在真空环境下将固态碳化硅材料蒸发或溅射到基材表面形成薄膜。


碳化硅涂层在炭/炭热场材料中的应用

在单晶硅生产中,炭/炭热场材料的尺寸要求越来越大,而碳化硅涂层由于其尺寸稳定性、力学性能优异等因素成为单晶硅用热场材料的首选。在直拉单晶硅过程中,硅料的熔融会产生硅蒸气和熔融硅飞溅,造成炭/炭热场材料的硅化侵蚀,炭/炭热场材料的力学性能和使用寿命受到严重影响。因此,如何降低炭/炭热场材料的硅化侵蚀,提高其使用寿命成为单晶硅生产厂家和炭/炭热场材料生产厂家共同关注的课题之一。碳化硅涂层由于其优异的抗热震性能、耐磨性能等特点成为炭/炭热场材料表面涂层防护的首选。


碳化硅涂层在炭/炭热场材料中的应用主要体现在其优异的抗热震性能、耐磨性能等方面,这些特性使得它成为提高单晶硅生产中热场材料使用寿命的关键。随着研究的深入和技术的进步,碳化硅涂层的制备方法和应用领域将进一步拓展,有望在未来发挥更大的作用。


碳化硅涂层

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