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高纯度石墨在半导体制造中的特点

2024-07-10

 高纯度石墨在半导体制造中的特点


半导体制造中的许多工艺是在非常高的温度和极具腐蚀性的环境中进行的,其制程必须在高温洁净无尘环境下作业,高纯度石墨具有耐高温、良好的导电导热性、化学性能稳定等特性,成为半导体制造中关键的材料。


半导体高纯度要求


高纯度是半导体石墨的关键要求,尤其是在晶体生长的过程,石墨中的杂质更是晶体品质优劣的关键决定因素,杂质含量应保持在百万分之五以下。


高纯石墨的生产流程


高纯石墨纯度要求高,制备成本较高,制备周期较长,生产工序主要包括原料破碎、煅烧、磨粉、配料、混合、轧辊、磨粉、双面压/等静压、焙烧、浸渍、石墨化、机加工、检验等,其中需要多次焙烧和浸渍。


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